Modelling and Analysis of Mechanical and Thermal Response of an Ultrastable, Dual-Axis, Cubic Cavity for Terrestrial and Space Applications
๐ Abstract
**
์ด ๋
ผ๋ฌธ์ ์ด๋ํ ์ ๊ดํ ์์์๊ณ์ ํ์์ ์ธ ์ด์์ ๋ ์ด์ ๋ฅผ ๊ณ ์ ์ํค๊ธฐ ์ํ 7.5โฏcm ๊ธธ์ด์ ๋์ผโ์ถ ์
๋ฐฉํ ๊ด๊ณต๋ช
(ํ๋น
) ์บ๋นํฐ๋ฅผ ๋์์ผ๋ก, ์ ํ์์๋ฒ(FEM) ๊ธฐ๋ฐ์ ๊ธฐ๊ณยท์ด ์์ ์ฑ ๋ถ์์ ์ํํ๋ค. ๋์นญ์ ์ธ ๊ธฐํ๊ตฌ์กฐ์ ์ ์ โ์ง์ง ๋ฐฉ์์ ์ด์ฉํด ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ์ต์ํํ๋ฉด์, ๋ค์ถ ์ค๊ณ๋ก ๋คํ์ฅ ๋ ์ด์ ๋์ ๊ณ ์ ์ด ๊ฐ๋ฅํ๋๋ก ์ค๊ณํ์๋ค. ์ฃผ์ ์ฐ๊ตฌ ๋ด์ฉ์ (1) ์ ์ ์ ๋จ ๊น์ด, ๋ณด๊ฐ ๋ง, ๋ณด๊ฐ ๋ก๋ ๋ฐ๊ฒฝ, ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ ๋ฑ ๊ธฐํ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๊ฐ ๊ธธ์ด ๋ณ๋(ฮL/L)์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ, (2) ๊ฐ๊ณต ์ค์ฐจ์ ์ง์ง๋ ฅ(50โฏN ์ง์, 500โฏN ์ฐ์ฃผ) ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฏผ๊ฐ๋ ๋ถ์, (3) ์ง๊ณต ์ฑ๋ฒ์ 3์ค ์ด ์ฐจํ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํฌํจํ ์ด ์ ๋ยท๋ณต์ฌยท๊ฑฐ์ธ ๊ฐ์ด ๋ชจ๋ธ๋ง์ ํตํ ์ด์์ ์(thermal time constant) ์ถ์ ์ด๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก 7.5โฏcm ์บ๋นํฐ๋ 5โฏcm ๋๋น ์ด ์ก์ ๋ฐ๋ฅ์ด ํฌ๊ฒ ๋ฎ์ผ๋ฉฐ, 10โฏcm ์บ๋นํฐ์ ๊ฑฐ์ ๋๋ฑํ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์งํ๋ฉด์๋ ํฌ๊ธฐยท๋ฌด๊ฒยท์ ๋ ฅ(SWaP) ์ธก๋ฉด์์ ์ค์ฉ์ ์ธ ๊ท ํ์ ์ ์ ๊ณตํ๋ค. ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์ด๋ํยท์ฐ์ฃผ์ฉ ๊ด๋ ํผ๋ฐ์ค ์บ๋นํฐ ์ค๊ณ์ ์ ์ฉํ ๊ฐ์ด๋๋ผ์ธ์ ์ ๊ณตํ๊ณ , ์ฐจ์ธ๋ PNT, ์ง๊ตฌ์ธก๋, VLBI ๋ฐ ์ฌ์ฐ์ฃผ ํ์ฌ์ ์ ์ฉ๋ ์ ์๋ค.
**
๐ก Deep Analysis
**
1. ์ฐ๊ตฌ ๋ฐฐ๊ฒฝ ๋ฐ ํ์์ฑ
- ์ ๊ดํ ์์์๊ณ๋ 10โปยนโธ ์์ค์ ์ฃผํ์ ๋ถ์์ ์ฑ์ ๋ฌ์ฑํ์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ๋ ์ด์ ์ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ์ ์ง์ ์์กดํ๋ค.
- ์ด๋ํยท์ฐ์ฃผ์ฉ ์๊ณ๋ ์คํ์ค ์์ค์ ์ง๋ยท์จ๋ ๊ฒฉ๋ฆฌ ํ๊ฒฝ์ ์ ๊ณตํ๊ธฐ ์ด๋ ค์ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ์ด ์์ ์ฑ์ ์์ฒด์ ์ผ๋ก ์ต์ํํด์ผ ํ๋ค.
- ์ ๋ฐฉํ(cubic) ์คํ์ด์๋ ๋์นญ ๊ตฌ์กฐ์ ์ ์ โ์ง์ง ๋ฐฉ์์ผ๋ก 1์ฐจ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ 10โปยนยนโฏ/g ์ดํ๋ก ์ต์ ํ ์ ์์ด, ์ด๋ํ ์์ฉ์ ์ ํฉํ ํ๋ณด์ด๋ค.
2. ์ค๊ณยท๋ชจ๋ธ๋ง ์ ๊ทผ๋ฒ
| ํญ๋ชฉ | ๋ด์ฉ | ์ฃผ์ ๊ฒฐ๊ณผ |
|---|---|---|
| ๊ธฐํ ํ๋ผ๋ฏธํฐ | ์ ์ ์ ๋จ ๊น์ด(cutout), ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ(b), ์ง์ง ๋ก๋ ๋ฐ๊ฒฝ(sแตฃ), ๊ฑฐ์ธ ๋ฐ๊ฒฝ(Rโ), ๋ณด๊ฐ ๋ง ๋๊ป ๋ฑ | ์ฒซ ๋ฒ์งธ โzeroโcrossingโ ์ ๋จ ๊น์ด๋ 12.97โฏmm (๋ฏผ๊ฐ๋ ์ต์)์ด๋ฉฐ, ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ 2โ3.5โฏmm ๊ตฌ๊ฐ์ด ์ต์ . |
| ์ฌ๋ฃ | ์คํ์ด์: ULE, ๊ฑฐ์ธ: Fused Silica, ์ง์ง ๋ก๋: ๊ตฌ์กฐ์ฉ ๊ฐ | ์ฌ๋ฃ ์ดํฝ์ฐฝ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด๊ฐ ๋ง(ULE)์ผ๋ก ๋ณด์ , CTE ๋งค์นญ์ ์คํ. |
| ํ ์กฐ๊ฑด | ์ง์: 50โฏN, ์ฐ์ฃผ: 500โฏN (์ง์๋ ฅ) | ์ง์๋ ฅ ์ฆ๊ฐ ์ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ์ง๋ง zeroโcrossing ์ ๋จ ๊น์ด๋ ๋ณํ์ง ์์. |
| ์ด ๋ชจ๋ธ | ์ง๊ณต ์ฑ๋ฒ, 3์ค ์ด ์ฐจํ, ๋ณต์ฌยท์ ๋ยท๊ฑฐ์ธ ํก์(์ด) ํฌํจ | ์ ์ฒด ์์คํ ์ด์์ ์๋ ์์ฒ ์ด ์์ค์ผ๋ก, ์ธ๋ถ ์จ๋ ๋ณ๋์ ๋ํ ์ ๊ฐ ํจ๊ณผ ํ์ธ. |
3. ์ฃผ์ ๋ฐ๊ฒฌ ๋ฐ ์์
-
ํฌ๊ธฐโ์ฑ๋ฅ ํธ๋ ์ด๋์คํ
- 5โฏcm ์บ๋นํฐ๋ ๊ฐ์ฅ ์์ง๋ง ์ด ์ก์ ๋ฐ๋ฅ์ด ๋๊ณ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ ์๋์ ์ผ๋ก ํฌ๋ค.
- 10โฏcm ์บ๋นํฐ๋ ์ต์ ์ด ์ก์ ๋ฐ๋ฅ์ ์ ๊ณตํ์ง๋ง ๋ถํผยท๋ฌด๊ฒยท์ ๋ ฅ ์๊ตฌ๊ฐ ๊ธ์ฆํ๋ค.
- 7.5โฏcm ์บ๋นํฐ๋ 10โฏcm ์์ค์ ์ด ์ก์(โโฏ10โปยนโถโฏHzโปยน/ยฒ)๊ณผ ๋น์ทํ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋(โโฏ10โปยนยนโฏ/g) ๋ฅผ ์ ์งํ๋ฉด์, SWaP ์ธก๋ฉด์์ ์ค์ฉ์ ์ธ ์ค๊ฐ์ ์ด๋ค.
-
ZeroโCrossing ์ ๋จ ๊น์ด ์ต์ ํ
- ๋ ๊ฐ์ zeroโcrossing ๊น์ด๊ฐ ์กด์ฌํ์ง๋ง, ์ฒซ ๋ฒ์งธ(12.97โฏmm)๊ฐ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ๊ฐ๊ณต ์ค์ฐจ์ ๋ํด ๋ ๊ด๋ํจ์ ๋ณด์ฌ ์ค๊ณ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ์ฑํ.
- ์ ๋จ ๊น์ด ์ค์ฐจ 0.1โฏmm๋น ๊ธธ์ด ๋ณ๋์ด 10โปยนยฒ ์์ค์ด๋ฏ๋ก, ๊ณ ์ ๋ฐ ๊ฐ๊ณต์ด ํ์.
-
๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ๊ณผ ์ง์ง ๋ก๋ ์ค๊ณ
- ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ์ด 4.4โฏmm๋ฅผ ์ด๊ณผํ๋ฉด zeroโcrossing์ด ์ฌ๋ผ์ ธ ์ค๊ณ ์ฌ์ ๊ฐ ์ฌ๋ผ์ง๋ค.
- ์ง์ง ๋ก๋ ๋ฐ๊ฒฝ์ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ๊ฑฐ์ ์ํฅ์ ์ฃผ์ง ์์ง๋ง, ์ด ์ ๋ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ํฌ๊ฒ ๋๋ฆฌ๋ฏ๋ก ๊ฐ๋ฅํ ํ ์๊ฒ(0.25โ1โฏmm) ์ค๊ณํ๋ ๊ฒ์ด ๋ฐ๋์ง.
-
์ด ์ฐจํ์ ๊ฑฐ์ธ ๊ฐ์ด
- ๊ฑฐ์ธ ํก์์ ์ํ ๊ตญ๋ถ ๊ฐ์ด์ด ์ ์ฒด ์ด์์ ์์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ 10โปยณโฏ% ์์ค์ผ๋ก, ๋ค์ค ์ฐจํ ์ค๊ณ๊ฐ ์ถฉ๋ถํ ์ต์ ํจ์ ํ์ธ.
- ์ด ์ฐจํ ์ฌ๋ฃ์ ํ๋ฉด ๋ฐฉ์ฌ์จ์ ์ต์ ํํ๋ฉด ์ด์์ ์๋ฅผ 5โฏ000โฏs ์ด์์ผ๋ก ์ฐ์ฅ ๊ฐ๋ฅ.
4. ํ๊ณ์ ๋ฐ ๊ฐ์ ๋ฐฉํฅ
| ๊ตฌ๋ถ | ๋ด์ฉ | ์ ์ธ |
|---|---|---|
| ์คํ ๊ฒ์ฆ ๋ถ์กฑ | FEM ๊ฒฐ๊ณผ๋ง ์ ์, ์ค์ ํ๋กํ ํ์ ์คํ ๋ฐ์ดํฐ ๋ถ์ฌ | ํ๋กํ ํ์ ์ ์ ํ ์ง๋ยท์ด ์คํ์ ํตํด ๋ชจ๋ธ ๊ฒ์ฆ ํ์ |
| ์ฐ์ฃผ ํ๊ฒฝ ๊ณ ๋ ค | ๋ฐฉ์ฌ์ , ์ฅ๊ธฐ ์ด ์ฌ์ดํด, ๋ฏธ์ ์ค๋ ฅ ํ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ณํ ๋ฏธ๊ณ ๋ ค | ์ฐ์ฃผ ํ๊ฒฝ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ (์: ESA/NASA ์ฐ์ฃผ ํ๊ฒฝ ๋ชจ๋ธ)๊ณผ ์ฅ๊ธฐ ๋ด๊ตฌ์ฑ ์ํ ํ์ |
| ์ฌ๋ฃ ์ ํ | ๊ตฌ์กฐ์ฉ ๊ฐ์ ์ง์ง ๋ก๋์ ์ฌ์ฉํ์ผ๋, ์ด ์ ๋์ ์๊ธฐ์ฅ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ ์ฐ๋ ค | ํ์ ์ฌ์ ๋ณตํฉ์ฌ ํน์ ์ ์ด์ ๋ ๊ณ ๊ฐ๋ ํฉ๊ธ(์: Tiโ6Alโ4V) ๊ฒํ |
| ๋ค์ถ ๋ ์ด์ ๋์ ๊ณ ์ | ๋์ผโ์ถ ์ค๊ณ๊ฐ ๋คํ์ฅ ๋ ์ด์ ๋์ ๊ณ ์ ์ ์ ๋ฆฌํ๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ์ง๋ง, ๊ดํ ๊ฒฐํฉ(๋ชจ๋ ๋งค์นญ) ๋ถ์์ด ๋ถ์กฑ | ๊ดํ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ (FDTD ๋ฑ)๊ณผ ์คํ์ ํตํด ๊ต์ฐจ ๊ฐ์ญ ๋ฐ ๋ชจ๋ ์์ ์ฑ ํ๊ฐ ํ์ |
| ์ ์กฐ ๊ณต์ | ์ ๋จ ๊น์ด์ ๋ณด์ด ๊ฐ๊ณต ์ค์ฐจ๊ฐ ์ฑ๋ฅ์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์นจ | ๊ณ ์ ๋ฐ CNCยทEDM ๊ฐ๊ณต, ์ธ๋ผ์ธ ์ธก์ (๋ ์ด์ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ณ) ๋ฐ ํผ๋๋ฐฑ ์ ์ด ํ๋ก์ธ์ค ๋์ ๊ถ๊ณ |
5. ํฅํ ์ฐ๊ตฌ ๋ก๋๋งต
- ํ๋กํ ํ์ ์ ์ ๋ฐ ํ์ฅ ์ํ โ ์ง์ ์ง๋ ํ๋ซํฌ๋จธ์ ์จ๋ ๋ณ๋ ์ฑ๋ฒ์์ ์ฅ์๊ฐ(>โฏ1โฏ๊ฐ์) ํ ์คํธ.
- ์ฐ์ฃผ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ โ ์ด ์ฌ์ดํด(โ40โฏยฐC โโฏ+60โฏยฐC), ๋ฐฉ์ฌ์ ๋ ธ์ถ, ์ ์ค๋ ฅ ํ ๊ตฌ์กฐ ๋ณํ์ ํฌํจํ ๋ค๋ฌผ๋ฆฌ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ .
- ์ฌ๋ฃ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ ์ต์ ํ โ ์ ์ด์ ๋ยท๊ณ ๊ฐ๋ ๋ณตํฉ์ฌ ์ง์ง ๋ก๋์ ์ด์ ์ดํฝ์ฐฝ(ZeroโCTE) ํฉ๊ธ ์ ์ฉ ๊ฒํ .
- ๋ค์ถ ๊ดํ ํตํฉ โ ๋ ์ถ ๋ ์ด์ ์ ์ํธ ๊ฐ์ญ, ๋ชจ๋ ๊ฒน์นจ, ๊ดํ ํผ๋๋ฐฑ ๋ฃจํ ์ค๊ณ ์ต์ ํ.
- ์์คํ ๋ ๋ฒจ ํตํฉ โ ์ ์ยท์ ์ดยท์ง๋ ๊ฐ์ (์กํฐ๋ธ ํผ๋๋ฐฑ)์ ๊ฒฐํฉํ ์ ์ฒด ์๊ณ ์์คํ ์ค๊ณ, SWaP ์ต์ ํ.
**
๐ Full Content
๋ฒ์ญ (ํ๊ตญ์ด, 2000์ ์ด์)
ํ๋ ๊ณผํ๊ณผ ๊ธฐ์ ์ ์ ์ ๋ ์ ๋ฐํ ์๊ฐยท์ฃผํ์ ๊ธฐ์ค์ ์ถ๊ตฌํจ์ ๋ฐ๋ผ ํฌ๊ฒ ๋ณ๋ชจํ์ผ๋ฉฐ, ์์ฑ ํญ๋ฒยทํต์ ๋ถํฐ ๋ฌผ๋ฆฌํ ๊ธฐ๋ณธ ๋ฒ์น ๊ฒ์ฆ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ๋ค์ํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๊ธฐ๋ฐ์ด ๋๊ณ ์๋ค[1][2][3][4][5][6]. ๊ดํ ์์ ์๊ณ๋ ๊ฐ์ฅ ์ ํํ๊ณ ์์ ์ ์ธ ์๊ฐ๊ณ๋ก ๋ถ์ํ์ผ๋ฉฐ, ๊ทธ ๋ถ์ ์ฃผํ์ ๋ถ์์ ๋๋ 10โปยนโธ ์์ค์ ๋ฌํ๋ค[7]. ์ด๋ฌํ ์ฑ๋ฅ์ ์ดํ๋ ์ ํญ์ ๊ฐ๋ ์ ์ด ๊ธ์ง(dipoleโforbidden) ์์ ์ ์ด๋ฅผ ์กฐ์ฌํ๊ณ , ๊ทธ ์ฃผํ์๋ฅผ ์ด๊ณ ์ ๋ฐ ๊ณ ํ์ง(optical highโfinesse) ๊ณต์ง๊ธฐ์ ๊ณ ์ ํจ์ผ๋ก์จ ๊ฐ๋ฅํด์ง๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ๋งฅ๋ฝ์์ ๋ ์ด์ ์ ์ฃผํ์ ์์ ๋, ์ฆ ์๊ณ ์์ฒด์ ์์ ๋๋ ๋ ํผ๋ฐ์ค ์บ๋นํฐ(์ฐธ์กฐ ๊ณต์ง๊ธฐ)์ ์น์ ์์ ๋์ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ์ข์ฐ๋๋ค. ์์ ํ๋ ๋ ์ด์ ์ ๋ถ์ ์ฃผํ์ ์์ ๋๋ ์บ๋นํฐ ๊ธธ์ด์ ๋ถ์ ๊ธธ์ด ์์ ๋์ ๋น๋กํ๋ค. ์ต์ ์คํ์ค ์์คํ ์์๋ ์ด๊ณ ์ ๋ฐ ์บ๋นํฐ๋ฅผ ์ง๋ ๊ฒฉ๋ฆฌยท์ ๋ฐ ์จ๋ ์ ์ด๊ฐ ์ด๋ฃจ์ด์ง ํ๊ฒฝ์ ๋ฐฐ์นํจ์ผ๋ก์จ, 1โฏs ํ๊ท ์๊ฐ์์ ๋ ์ด์ ๋ถ์์ ๋๋ฅผ 10โปยนโถ ์ดํ ์์ค์ผ๋ก ๋ฎ์ถ ์ ์๋ค[8].
ํ์ง๋ง ํฅํ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ ์ ์ ๋ ์ด๋ ๊ฐ๋ฅํ๊ฑฐ๋ ์ฌ์ง์ด ์ฐ์ฃผ ๋ฑ๊ธ์ ์๊ณ ์์คํ ์ ์๊ตฌํ๊ณ ์๋ค. ์ด๋ฌํ ํ๊ฒฝ์์๋ ์คํ์ค ์์ค์ ์ง๋ยท์จ๋ ๊ฒฉ๋ฆฌ๊ฐ ํญ์ ๊ฐ๋ฅํ ๊ฒ์ด ์๋๋ค. ์ด๋ํ ๊ดํ ์๊ณ๋ ์คํ์ค ๊ฐ ๋น๊ต, ์๊ฒฉ์ง ์ ๋ฐ ์๊ฐ ์ ์ก, ์ฐ์ฃผ ๊ธฐ๋ฐ ๊ธฐ๋ณธ ๋ฌผ๋ฆฌ ์คํ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ํ์ฌ์ PNT(์์นยท์๊ฐยทํญ๋ฒ) ๊ธฐ๋ฐ ์์คํ ํ๊ณ๋ฅผ ๋์ด์๋ ํญ๋ฒ ์์คํ ๋ฑ์ ํ์ฉ๋ ์์ ์ด๋ค[9]. ์ด๋ฌํ ์๋๋ฆฌ์ค์์๋ ๋ ํผ๋ฐ์ค ์บ๋นํฐ๊ฐ ๊ธฐ๊ณ์ ์ถฉ๊ฒฉ, ๋ค์ํ ์์ธ ๋ณํ, ์จ๋ ๋ณ๋ ๋ฑ ๊ฐํนํ ํ๊ฒฝ์ ๋ ธ์ถ๋๋ฉด์๋ ํ์ํ ์์ ์ฑ์ ์ ์งํด์ผ ํ๋ค.
1. ์ด๋ํ ์บ๋นํฐ์ ํต์ฌ ๊ณผ์
์ด๋ํ ์บ๋นํฐ[9]์์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ๊ณผ์ ๋ ์ธ๋ถ ์ง๋ ๊ฒฉ๋ฆฌ์๋ง ์์กดํ์ง ์๊ณ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ์ต์ํํ๋ ๊ฒ์ด๋ค. ์ ์ด๋ ์คํ์ค ํ๊ฒฝ์ด ์๋ ๊ณณ์์ ๊ฐ์ธํ ์ฃผํ์ ๋ ํผ๋ฐ์ค๋ฅผ ๊ตฌํํ๊ธฐ ์ํ ์ฌ๋ฌ ์ ๊ทผ๋ฒ ์ค, ๋์นญ์ฑ์ ์ด์ฉํ ์ฅ์ฐฉ ์ ๋ต์ด ๊ด์ฑ๋ ฅ์ ๋ํ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ํฌ๊ฒ ์ต์ ํ๋ ๋ฐ ํนํ ํจ๊ณผ์ ์ด๋ค. ๋ํ์ ์ธ ์ฌ๋ก๊ฐ ํ์ ๋ฌด๊ดํ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ[10,โฏ11]์ด๋ค. ์ด ๊ตฌ์กฐ๋ ์ ์ก๋ฉด์ฒด ์คํ์ด์๋ฅผ ๊ฐ ๊ผญ์ง์ ์์ ์ ๋จ(truncate)ํ๊ณ , ๋ค ๊ฐ์ ๊ผญ์ง์ ์ ์ฌ๋ฉด์ฒด(tetrahedral) ํํ๋ก ์ง์งํ๋ค. ๊ฐ ์ง์ง๋ ฅ์ ์ ์ก๋ฉด์ฒด์ ๊ธฐํํ์ ์ค์ฌ์ ํฅํ๋๋ก ์์ฉํด, ๋ชจ๋ ๋ณ์งยทํ์ ์์ ๋๋ฅผ ์ ํํ๋ฉด์๋ ํ์ ๋์นญ์ฑ์ ์ ์งํ๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ตฌ์ฑ์ ํตํด ์ ์ ํ๋ฆฌ๋ก๋(force preload)์ ์ ํยทํ์ ๊ฐ์๋์ ์ํด ๋ฐ์ํ๋ 1์ฐจ ๊ธธ์ด ๋ณํ๋ฅผ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์์ํ๋ค. ์ ๋จ ๊น์ด๋ฅผ ์ต์ ํํ๋ฉด, ์ด๋ฌํ ์บ๋นํฐ๋ ์๋ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ 10โปยนยนโฏ/g ์์ค๊น์ง ๋ฎ์์ ธ ์ด๋ํยท์ฐ์ฃผํ ๊ดํ ์๊ณ ์์คํ ์ ๊ฐ๋ ฅํ ํ๋ณด๊ฐ ๋๋ค[10,โฏ12][13].
์ด ๊ธฐ๋ฐ ์์ ์ด์ค์ถ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ[14,โฏ15]๊ฐ ๊ฐ๋ฐ๋์์ผ๋ฉฐ, ๋์ผํ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์คํ์ด์ ์์ ๋ ๊ฐ์ ์ง๊ต ๊ด์ถ์ ๋ฐฐ์นํ๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ํ๋์ ๊ธฐ๊ณ์ ์ผ๋ก ๊ฒฌ๊ณ ํ ํ๋ซํผ์์ ์ฌ๋ฌ ๋ ์ด์ (์: ์ข์ ์ ํญ์ ๊ฐ๋ ์๊ณ ๋ ์ด์ ์ ๋๊ฐยทํธ๋ํ ๋ ์ด์ )๋ฅผ ๋์์ ์์ ํํ ์ ์๋ค[16].
2. ์ ๋ฐฉ์ฒด ์คํ์ด์ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ํ
๋ค์์ ์ฐ๊ตฌํ์ด ์ ๋ฐฉ์ฒด ์คํ์ด์๋ฅผ ๊ตฌํํ์ผ๋ฉฐ[10,โฏ12โ16], ๊ทธ ์ค 5โฏcm ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ(NPL, ์๊ตญ ํนํ[10])๊ฐ ๊ฐ์ฅ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ค. 5โฏcm ์บ๋นํฐ๋ ์ํยทํด๋์ฑ์ด ๋ฐ์ด๋ ์ด๋ํ ๊ดํ ์๊ณ์ ์ ํฉํ๊ณ , ํฅํ ์ฐ์ฃผ ์๋ฌด์์๋ ์ ๋งํ ํ๋ณด๋ก ๊ผฝํ๋ค[9,โฏ17,โฏ18]. ๋ฐ๋ฉด 10โฏcm ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ๋[19โ21] ๊ธธ์ด๊ฐ ๊ธธ์ด ์ด ์ก์(floor) ํ๊ณ๋ฅผ ํฌ๊ฒ ๋ฎ์ถ ์ ์์ด ๋์ ์ฃผํ์ ์์ ์ฑ์ ์๊ตฌํ๋ ์์คํ ์ ์ ๋ฆฌํ์ง๋ง, ๋ถํผยท๋ฌด๊ฒ๊ฐ ์ปค์ ธ ์ด๋์ฑยท์ฐ์ฃผ ์ ์ฉ์ฑ์ ์ ํ๋๋ค.
๋ฐ๋ผ์ ํฌ๊ธฐ(ํด๋์ฑ)์ ์ก์ ์ฑ๋ฅ ์ฌ์ด์ ๊ท ํ์ ๋ง์ถ๊ธฐ ์ํด, 5โฏcm, 7.5โฏcm, 10โฏcm ์ด์ค์ถ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ๋ฅผ ๋น๊ต ๋ถ์ํ์๋ค. ์ง๋ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ์ด ์ก์ ํ๊ณ๋ฅผ ๊ฐ๊ฐ ์ง์(์ง์ง๋ ฅ 50โฏN)๊ณผ ์ฐ์ฃผ(์ง์ง๋ ฅ 500โฏN) ์กฐ๊ฑด์์ ํ๊ฐํ์ผ๋ฉฐ, COMSOL ๊ธฐ๋ฐ FEA ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๊ทธ๋ฆผโฏ1์, ์ด ์ก์ ํ๊ณ๋ [17]์ ์ ์ฐจ๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ๋ถ์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ํโฏI์ ์ ๋ฆฌํ์๋ค.
ํโฏI์์ ์ ์ ์๋ฏ์ด, ์บ๋นํฐ ๊ธธ์ด๊ฐ ๊ธธ์ด์ง์๋ก(5โฏcmโฏโโฏ7.5โฏcmโฏโโฏ10โฏcm) ์ง๋ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ์ด ์ก์ ๋ชจ๋ ๊ฐ์ ๋๋ค. ํนํ 7.5โฏcm ์คํ์ด์๋ 10โฏcm ์คํ์ด์น์ ๊ฑฐ์ ๋๋ฑํ ์ฑ๋ฅ์ ๋ณด์ด๋ฉด์๋ ๋ถํผยท๋น์ฉ ๋ฉด์์ ๋ ์ ๋ฆฌํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ 7.5โฏcm ์ค๊ณ๋ ์ฑ๋ฅยทํด๋์ฑยท๋น์ฉ ํจ์จ์ฑ ์ฌ์ด์ ์ต์ ์ ์ถฉ์ ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค.
3. ์ค๊ณยท๋ถ์์ ์ฑ ์ํ ์ ๋ต
์ค์ ์ด์ฉ ์ ์บ๋นํฐ๊ฐ ๋ฐ์ด๋ ์ฐจ์ยท์ฃผํ์ ์์ ์ฑ์ ์ ์งํ๋ ค๋ฉด, ์ค๊ณ ์ ๋ฐ์ ๊ฑธ์น ์ข ํฉ์ ์ธ ๊ฒํ ์ ๋ค์ํ ๋ถ์์ ์ฑ ์ํ ๋ฐฉ์์ด ํ์ํ๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ 7.5โฏcm ์ด์ค์ถ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ๋ฅผ ๋์์ผ๋ก, ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์์๋ก ๋ถ์์ ์งํํ์๋ค.
- ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ๋ชจ๋ธ ๊ตฌ์ฑ โ ์น์ โฏII์์ ์ฌ์ฉ๋ COMSOL ๋ชจ๋ธ์ ์ค์ ์ ์์ธํ ๊ธฐ์ .
- ๊ธฐํํ์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๊ฐ ๊ธธ์ด ๋ถ์์ ์ฑ(ฮL/L)์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ โ ์น์ โฏIII์์ ์ฃผ์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ(์ ๋จ ๊น์ด, ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ, ์ง์ง ๋ฐ๊ฒฝ, ๊ฑฐ์ธ ๋ฐ๊ฒฝ, ๊ฑฐ์ธ ๋๊ป ๋ฑ)์ ๋ณํ๋ฅผ ์กฐ์ฌ.
- ๊ฐ๊ณต ์ค์ฐจ์ ๋ํ ๋ฏผ๊ฐ๋ โ ์น์ โฏIV์์๋ ํนํ ์ ๋จ ๊น์ด์ ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ์ ๋ํ ๊ฐ๊ณต ํ์ฉ์ค์ฐจ๊ฐ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ์ ๋ํ.
- ์ด ๋ชจ๋ธ๋ง ๋ฐ ์ด ์๊ฐ ์์ โ ์น์ โฏV์์๋ 3์ค ์ด ์ฐจํ์ ์ง๊ณต ์ฑ๋ฒ๋ฅผ ํฌํจํ ์์คํ ์ ์ฒด์ ์ด ์ ๋ยท๋ณต์ฌยท๊ฑฐ์ธ ๊ฐ์ด์ ๊ณ ๋ คํ ์ด ์๊ฐ ์์๋ฅผ ์์น์ ์ผ๋ก ๊ณ์ฐํ๊ณ , FEA๋ฅผ ํตํด ์ ์ฒด ์์คํ ์ ์ ํจ ์ด ์๊ฐ ์์๋ฅผ ๋์ถํ์๋ค.
3โ1. ์ด๊ธฐ FEA ์ค์
Webster์ Gill์ด ์ ์ํ ์ค๊ณ[10]๋ฅผ ๊ทธ๋๋ก ์ฑํํ๊ณ , COMSOLโฏ5.4๋ฅผ ์ด์ฉํด 7.5โฏcm ์ด์ค์ถ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ ๋ชจ๋ธ์ ๊ตฌ์ถํ์๋ค(๊ทธ๋ฆผโฏ2). ๋ค ๊ฐ์ ๊ฑฐ์ธ์ด ์ ์ก๋ฉด์ฒด ์คํ์ด์์ ์ ์ดํด XยทY ๋ ์ถ์ ๊ฐ๊ฐ ์บ๋นํฐ๋ฅผ ํ์ฑํ๊ณ , Z์ถ์ ์ง๊ณต ํํ์ ์ํด ๋น์ ๋์๋ค. ๋ชจ๋ ๊ผญ์ง์ ์ ์ค์ฌ์ ํฅํด ์ผ์ ๊น์ด๋ก ์ ๋จ(cutout depth)๋๋ฉฐ, ๋ค ๊ฐ์ ์ํตํ ์ง์ง๋ด์ ์ฌ๋ฉด์ฒด ํํ๋ก ๋ฐฐ์น๋๋ค. ์ง์ง๋ด๊ณผ ์คํ์ด์ ์ ์ด๋ฉด์ ์ถ ๋ฐฉํฅ(์ํต์ถ)์ผ๋ก๋ง ์ด๋ํ๋๋ก ์ ํํ๊ณ , ์ง์ง๋ ฅ์ ๋ชจ๋ ์ค์ฌ์ ํฅํด ์์ฉํ๋ค. ์ฌ์ฉ๋ ๊ธฐํํ์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ ํโฏII์ ์ ๋ฆฌํ์๋ค.
์ฌ๋ฃ๋ ์ด์ ํฝ์ฐฝ(UltraโLowโExpansion, ULE) ์ ๋ฆฌ(์คํ์ด์), ํจ์ฆ๋ ์ค๋ฆฌ์นด(Fused Silica, FS) ๊ฑฐ์ธ, ๊ตฌ์กฐ์ฉ ๊ฐ์ฒ (์ง์ง๋ด)์ผ๋ก ์ค์ ํ์๋ค. ULEยทFS๋ ๋ฌผ์ฑ์น๋ฅผ ์ง์ ์ ๋ ฅํ์ผ๋ฉฐ, ๊ฐ์ฒ ์ COMSOL ๋ผ์ด๋ธ๋ฌ๋ฆฌ์์ ์ ํํ์๋ค.
3โ2. ์ ๋จ ๊น์ด ์ต์ ํ์ ์์ (cutout zeroโcrossing)
WebsterยทGill[10]์ด ์ ์ํ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด, ์ง์ง๋ ฅ์ ์ํด ๋ฐ์ํ๋ ์บ๋นํฐ ๊ธธ์ด ๋ณ๋(ฮL/L)์ ์ ๋จ ๊น์ด๋ฅผ ์ ์ ํ ์กฐ์ ํ๋ฉด 0์ด ๋๋๋ก ์ค๊ณํ ์ ์๋ค. COMSOL ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ๊ฒฐ๊ณผ(๊ทธ๋ฆผโฏ3)์์ 7.5โฏcm ์บ๋นํฐ๋ 12.97โฏmm์ 32.20โฏmm ๋ ์ง์ ์์ ฮL/L์ด 0์ด ๋๋ ์์ (cutout zeroโcrossing)์ ๋ณด์๋ค. ๋ ์์ ์ค ์ฒซ ๋ฒ์งธ(12.97โฏmm)๊ฐ ๊ธฐ๊ณ์ ยท์ด์ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ ๋ ๋ฎ์ ์ต์ ์ ๋จ ๊น์ด๋ก ์ฑํํ๋ค.
3โ3. ์ง์ง๋ ฅ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฏผ๊ฐ๋
์ธ๋ถ ๊ฐ์๋๊ฐ ์์ ๋๋ ์ง์ง๋ ฅ ์์ฒด๊ฐ ๋ฏผ๊ฐ๋์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ค. ์ง์ง๋ ฅ์ 2โฏNโ10โฏN(์ ํ)์ 50โฏNโ500โฏN(๊ณ ํ) ๊ตฌ๊ฐ์ผ๋ก ๋ณํ์์ผ ์กฐ์ฌํ ๊ฒฐ๊ณผ(๊ทธ๋ฆผโฏ4)์์ ์์ ์์น๋ ๋ณํ์ง ์์ง๋ง, ๋ฏผ๊ฐ๋๋ ์ง์ง๋ ฅ์ ๋น๋กํด ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํจ์ ํ์ธํ์๋ค.
3โ4. ์ฃผ์ ๊ธฐํํ ํ๋ผ๋ฏธํฐ์ ์์ ยท๋ฏผ๊ฐ๋
๊ทธ๋ฆผโฏ5๋ ๋ค์ํ ํ๋ผ๋ฏธํฐ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ ฮL/L ๊ณก์ ์ ๋ณด์ฌ์ค๋ค. ์ฌ๊ธฐ์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ **๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ(b)**์ด๋ฉฐ, ์ง์ง ๋ฐ๊ฒฝ($s_r$)์ ๊ฑฐ์ ์ํฅ์ ์ฃผ์ง ์๋๋ค.
-
๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ(b): ๊ทธ๋ฆผโฏ6์์ ๋ณด๋ฏ์ด b๋ฅผ 1โฏmmโ6โฏmm๋ก ๋๋ฆฌ๋ฉด ์ฒซ ๋ฒ์งธ ์์ ๊ณผ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ ๋ชจ๋ ๊ฐ์ํ๋ค. ๋ค๋ง bโฏ>โฏ4.4โฏmm์์๋ ์ฒซ ๋ฒ์งธ ์์ ์์ฒด๊ฐ ์ฌ๋ผ์ง๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ค์ฉ์ ์ธ ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ์ 2โฏmmโฏ<โฏbโฏ<โฏ3.5โฏmm ์ฌ์ด๊ฐ ๊ฐ์ฅ ์ ์ ํ๋ค(๋ ์ด์ ๋น ์ ์ฌ ๊ณ ๋ ค).
-
์ง์ง ๋ฐ๊ฒฝ($s_r$): ๊ทธ๋ฆผโฏ7์์ ๋ณด๋ฏ์ด ์์ ์ ์ง์ง ๋ฐ๊ฒฝ์ด ์ปค์ง์๋ก ์ฆ๊ฐํ์ง๋ง ๋ฏผ๊ฐ๋๋ ๊ฑฐ์ ๋ณํ์ง ์๋๋ค. ์ด ์ ๋ ์ธก๋ฉด์์ ํฐ ์ง์ง ๋ฐ๊ฒฝ์ ์คํ์ด์๋ก์ ์ด ํ๋ฆ์ ์ฆ๊ฐ์์ผ ์ด ์์ ์ฑ์ ์ ํ์ํฌ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, 0.25โฏmmโฏ~โฏ1โฏmm ๋ฒ์๊ฐ ๋ฐ๋์งํ๋ค. ์ค์ ๋ก๋ ๋นํค(Viton) ๋ณผ์ ์ฌ์ฉํด ์ด ์ ์ฐ ๋ฐ ์ง๋ ํด์์ ์ ๊ณตํ๋ค.
-
๊ฑฐ์ธ ๋ฐ๊ฒฝ($R_m$): ๊ฑฐ์ธ ์ง๊ฒฝ์ 6.35โฏmm(ยฝโฏinch)์์ 12.7โฏmm(1โฏinch)๋ก ํ๋ํ๋ฉด ์์ ์ด 12.97โฏmmโ8.23โฏmm๋ก ์ด๋ํ๊ณ , ๋ฏผ๊ฐ๋๋ 1.8โฏรโฏ10โปยนยนโฏ/mm์์ 7.8โฏรโฏ10โปยนยฒโฏ/mm๋ก ๊ฐ์ํ๋ค(๊ทธ๋ฆผโฏ5(c)).
-
๊ฑฐ์ธ ๋๊ป($m_t$): ๊ทธ๋ฆผโฏ8์์ $m_t$๋ฅผ 1โฏmmโ8โฏmm๋ก ๋ณํ์์ผฐ์ ๋, ์์ ๊ณผ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ 2โฏmm์์ ์ต์๊ฐ์ ๋ณด์ด๊ณ ์ดํ ์ฆ๊ฐํ๋ค.
3โ5. ULE ๋ง(annular ring) ํ์ฉ
Legero ๋ฑ[22]์ ULE ์ฌ์ง์ ์ํ ๋ง์ FS ๊ฑฐ์ธ ๋ค๋ฉด์ ๋ถ์ฐฉํด ์ด ํฝ์ฐฝ ๊ณ์(CTE) ๋ถ์ผ์น๋ฅผ ๋ณด์ ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ์ํ์๋ค. ์ดํ ๋ค์์ ์ด๊ณ ์ ๋ฐ ์บ๋นํฐ์์ ์ด ๊ธฐ์ ์ด ์ฑํ๋๊ณ ์๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์ธ๊ฒฝ์ด ๊ฑฐ์ธ ๋ฐ๊ฒฝ(6.35โฏmm)๊ณผ ๋์ผํ๊ณ , ๋ด๊ฒฝ 3โฏmm, ๋๊ป 4โฏmm์ธ ULE ๋ง์ ๋ค ๊ฐ์ ๊ฑฐ์ธ์ ๋ถ์ฐฉํ ๋ชจ๋ธ์ ์ฌ์ฉํ์๋ค. ๋ง ๋๊ป์ ๋ด๊ฒฝ์ ๋ณํ์์ผฐ์ ๋ ฮL/L์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ๊ทธ๋ฆผโฏ9(a), (b)์์ ํ์ธํ ์ ์๋ค.
4. ๊ฐ๊ณต ์ค์ฐจ๊ฐ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ
๊ธฐํํ์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๊ฐ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ์ ํฐ ์ํฅ์ ์ฃผ๋ฏ๋ก, ์ค์ ์ ์กฐ ๊ณผ์ ์์ ๋ฐ์ํ ์ ์๋ ๊ฐ๊ณต ์ค์ฐจ๋ฅผ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ๋ค. ์ฌ๊ธฐ์๋ ํนํ ์ ๋จ ๊น์ด์ ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ ๋ ํ๋ผ๋ฏธํฐ์ ์ด์ ์ ๋ง์ถ์ด, ์ค์ฐจ๊ฐ ฮL/L์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ์ ๋ํํ์๋ค.
4โ1. ์ง์ง๋ ฅ๊ณผ ๊ฐ๊ณต ํ์ฉ์ค์ฐจ
๊ฐ๊ณต ํ์ฉ์ค์ฐจ๋ ์ฌ์ฉ๋ ๊ฐ๊ณต ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ๋ผ ํฌ๊ฒ ๋ฌ๋ผ์ง๋ค. ULE์ ๊ฐ์ ์ด์ ํฝ์ฐฝ ์ฌ๋ฃ๋ ์ ํ์ ๋ ์ด์ ์์นญ(Selective Laser Etching, SLE)[23]์ ์ด์ฉํ๋ฉด 0.001โฏmm ์์ค์ ์๋ธโ๋ง์ดํฌ๋ก ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ฉด ์ ํต์ ์ธ CNC ๋ฐ๋งยท์ ์ญ์ 0.05โฏmmโฏ~โฏ0.1โฏmm ์ ๋์ ์ ๋ฐ๋์ ๋จธ๋ฌธ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ณธ ๋ถ์์์๋ **์ต์ (0.001โฏmm)**๊ณผ ์ต์ (0.1โฏmm) ๋ ๊ฒฝ์ฐ๋ฅผ ๋ชจ๋ ๊ณ ๋ คํ์๋ค.
4โ2. ์ ๋จ ๊น์ด ์ค์ฐจ
์ ๋จ ๊น์ด ํ๋์ +0.001โฏmm(์ต์ ) ๋๋ +0.1โฏmm(์ต์ )์ ์ค์ฐจ๊ฐ ๋ฐ์ํ์ ๋, ์ง์ง๋ ฅ์ ๋ฐ๋ผ ฮL/L์ด ์ด๋ป๊ฒ ๋ณํ๋์ง๋ฅผ ํโฏIV์ ์ ๋ฆฌํ์๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
- ์ง์ง๋ ฅ์ด ํด์๋ก(์: ์ฐ์ฃผ์ฉ 500โฏN) ์ ๋จ ๊น์ด ์ค์ฐจ์ ์ํ ๊ธธ์ด ๋ถ์์ ์ฑ์ด ํฌ๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๋ค.
- ์ต์ ํ์ฉ์ค์ฐจ(0.001โฏmm)์ ์ต์ ํ์ฉ์ค์ฐจ(0.1โฏmm) ์ฌ์ด์ ์ฐจ์ด๋ 1~2โฏ์ค๋(10๋ฐฐ~100๋ฐฐ) ์ ๋์ด๋ค.
4โ3. ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ ์ค์ฐจ
๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ์ +0.001โฏmm(์ต์ ) ๋๋ +0.1โฏmm(์ต์ ) ์ค์ฐจ๋ฅผ ๋ถ์ฌํ ๊ฒฝ์ฐ์ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ํโฏV์ ์ ์๋๋ค. ์ฃผ์ ๊ด์ฐฐ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
- ๋์ ์ง์ง๋ ฅ์ผ์๋ก(์: 500โฏN) ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ ์ค์ฐจ์ ๋ํ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ค.
- ์ต์ ํ์ฉ์ค์ฐจ๋ ์ต์ ํ์ฉ์ค์ฐจ์ ๋นํด ํ ์ฐจ์ ์ ๋ ๋ ๋์ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ์ ์ ๊ณตํ๋ค.
์ด๋ฌํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ง์ดํฌ๋ก ์์ค์ ๊ฐ๊ณต ์ ๋ฐ๋๊ฐ ์บ๋นํฐ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์ํจ๋ค๋ ์ ์ ๊ฐ์กฐํ๋ค.
5. ์ด ํ๊ฒฝ๊ณผ ์ด ์ฐจํ ์ค๊ณ
์ธ๋ถ ์จ๋ ๋ณ๋์ ์บ๋นํฐ ์คํ์ด์์ ๊ฑฐ์ธ์ ์น์ ๋ณํ๋ฅผ ์ผ์ผ์ผ ๊ดํ ๊ฒฝ๋ก ๊ธธ์ด์ ์ง์ ์ ์ธ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ค. ์ง๋ ์ก์์ด ์งง์ ์๊ฐ๋์ ์ฃผ๋ก ์์ฉํ๋ค๋ฉด, ์จ๋ ์ก์์ ์ ์ฃผํ ์์ญ์์ ์ฅ๊ธฐ์ ์ธ ๋น์ ํ ์ฃผํ์ ๋๋ฆฌํํธ๋ฅผ ์ ๋ฐํ๋ค[9]. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฐจํ์ ์ด ์๊ฐ ์์๋ฅผ ์ต์ ํํ๋ ๊ฒ์ด ํ์์ ์ด๋ค.
5โ1. ์ด ๋ชจ๋ธ๋ง
์น์ โฏV์์๋ 3์ค ์ด ์ฐจํ(๋ด๋ถ ์ฐจํยท์ค๊ฐ ์ฐจํยท์ธ๋ถ ์ฐจํ)์ ์ง๊ณต ์ฑ๋ฒ๋ฅผ ํฌํจํ ์์คํ ์ ์ด ์ ๋ยท๋ณต์ฌยท๊ฑฐ์ธ ๊ฐ์ด(๊ณ ํ์ง ๊ฑฐ์ธ์ ํก์์ ์ํ ๊ตญ๋ถ ๊ฐ์ด)๊น์ง ๊ณ ๋ คํ ์์น ๋ชจ๋ธ๋ก ๊ตฌํํ์๋ค. ๊ฐ ์ฐจํ๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ยท๊ตฌ๋ฆฌยท์คํ ์ธ๋ฆฌ์ค ๋ฑ ๊ณ ์ด์ ๋ ์ฌ๋ฃ์ ์ ๋ณต์ฌ์จ ํ๋ฉด ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ ์ฉํ์ผ๋ฉฐ, ์ด ์ ๋ ๊ฒฝ๋ก๋ ์ง์ง๋ดยท์ฐ๊ฒฐ ๋ถ์ยท์ง๊ณต์ฐฝ์ ํตํด ์ ๋ฌ๋๋ค.
5โ2. ์ด ์๊ฐ ์์ ๊ณ์ฐ
์ด ์ ๋ยท๋ณต์ฌยท๊ฑฐ์ธ ๊ฐ์ด์ ๋ชจ๋ ํฌํจํ ์ ์ฒด ์์คํ ์ ๋ํด FEA๋ฅผ ์ํํ์ฌ **์ ํจ ์ด ์๊ฐ ์์(ฯ_eff)**๋ฅผ ๋์ถํ์๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
- 1์ฐจ ์ฐจํ(๋ด๋ถ ์ฐจํ)๋ง ์ฌ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ ฯ_eff โโฏ30โฏs ์์ค.
- 3์ค ์ฐจํ๋ฅผ ์ ์ฉํ๊ณ ์ง๊ณต ์๋ ฅ์ 10โปโถโฏTorr ์ดํ๋ก ์ ์งํ๋ฉด ฯ_eff๋ โโฏ10โดโฏs(โโฏ3โฏ์๊ฐ)๊น์ง ์ฆ๊ฐํ๋ค.
- ๊ฑฐ์ธ ๊ฐ์ด์ ๊ณ ๋ คํ ๊ฒฝ์ฐ, ์ด ์๊ฐ ์์๋ ์ฝ 10โฏ% ์ ๋ ๊ฐ์ํ์ง๋ง, ์ฌ์ ํ ์์ฒ ์ด ์์ค์ ์ ์งํ๋ค.
์ด๋ฌํ ๊ธด ์ด ์๊ฐ ์์๋ ์ธ๋ถ ์จ๋ ๋ณ๋์ด ์บ๋นํฐ ๊ธธ์ด์ ์ ๋ฌ๋๋ ์๋๋ฅผ ํฌ๊ฒ ๋ฆ์ถ์ด, ์ฅ์๊ฐ ๋์์ ์ฃผํ์ ์์ ์ฑ์ ๋ณด์ฅํ๋ค.
6. ๊ฒฐ๋ก ๋ฐ ์ ๋ง
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ 7.5โฏcm ์ด์ค์ถ ์ ๋ฐฉ์ฒด ์บ๋นํฐ๋ฅผ ์ค์ฌ์ผ๋ก, ๊ธฐํํ์ ์ค๊ณ, ๊ฐ๊ณต ํ์ฉ์ค์ฐจ, ์ด ์ฐจํ๊น์ง ํฌ๊ด์ ์ธ ๋ถ์์ ์ํํ์๋ค. ์ฃผ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
- ํฌ๊ธฐ์ ์ฑ๋ฅ์ ์ ์ถฉ: 7.5โฏcm ์คํ์ด์น๋ 10โฏcm์ ๊ทผ์ ํ ์ง๋ยท์ด ์ก์ ์ฑ๋ฅ์ ์ ๊ณตํ๋ฉด์๋ 5โฏcm ๋๋น ๋ถํผยท๋น์ฉ ํจ์จ์ฑ์ด ์ฐ์ํด ์ด๋ํยท์ฐ์ฃผํ ์๊ณ์ ์ต์ ์ด๋ค.
- ์ ๋จ ๊น์ด ์ต์ ํ: ์ฒซ ๋ฒ์งธ ์์ (โโฏ12.97โฏmm)์์ ์ง์ง๋ ฅ์ ๋ฌด๊ดํ๊ฒ ฮL/Lโฏ=โฏ0์ด ๋๋ฉฐ, ์ด ์ง์ ์ด ๊ฐ์ฅ ๋ฎ์ ๊ฐ๊ณต ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ๋ณด์ธ๋ค.
- ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ์ด ํต์ฌ ํ๋ผ๋ฏธํฐ: ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝ 2โฏmmโฏ~โฏ3.5โฏmm๊ฐ ๊ธธ์ด ์์ ์ฑ๊ณผ ์ค์ฉ์ ๋ ์ด์ ์ ์ฌ ๋ชจ๋๋ฅผ ๋ง์กฑํ๋ค.
- ๊ฐ๊ณต ์ ๋ฐ๋์ ์ค์์ฑ: ๋ง์ดํฌ๋ก ์์ค(0.001โฏmm) ๊ฐ๊ณต ํ์ฉ์ค์ฐจ๊ฐ 0.1โฏmm ์ค์ฐจ์ ๋นํด 10โ100๋ฐฐ ๋ ๋ฎ์ ๊ธธ์ด ๋ถ์์ ์ฑ์ ์ ๊ณตํ๋ค.
- ์ด ์ฐจํ ์ค๊ณ: 3์ค ์ฐจํ์ ์ง๊ณต ํ๊ฒฝ์ ๊ฒฐํฉํ๋ฉด ์ด ์๊ฐ ์์๊ฐ ์์ฒ ์ด ์์ค์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํด, ์ธ๋ถ ์จ๋ ๋ณ๋์ ๋ํ ๋ฏผ๊ฐ๋๊ฐ ํฌ๊ฒ ๊ฐ์ํ๋ค.
์ด๋ฌํ ์ค๊ณ ์์น๊ณผ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ํด๋ํ ์ด๊ณ ์ ๋ฐ ๊ดํ ์๊ณ๋ฟ ์๋๋ผ, ์์ฑ ๊ธฐ๋ฐ ์๊ฐ๊ณ์ธก, ์ ๋ฐ ์ธก์งํ[4], ์ฌ์ฐ์ฃผ ํญ๋ฒ ๋ฑ ๊ฐํนํ๊ณ ๋์ ์ธ ์ด์ฉ ํ๊ฒฝ์์๋ ์๊ตฌ๋๋ ๋ฎ์ ๊ฐ์๋ ๋ฏผ๊ฐ๋, ๊ธฐ๊ณ์ ๊ฒฌ๊ณ ์ฑ, ํจ๊ณผ์ ์ธ ์ด ๊ด๋ฆฌ๋ฅผ ๊ตฌํํ๋ ๋ฐ ๊ธฐ์ฌํ๋ค. ์์ผ๋ก๋ ์ค์ ์ ์ยท์ํ ๋จ๊ณ์์ ์ ์๋ ์ต์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ(์ ๋จ ๊น์ดโฏโโฏ12.97โฏmm, ๋ณด์ด ๋ฐ๊ฒฝโฏโโฏ2.5โฏmm, ์ง์ง ๋ฐ๊ฒฝโฏโโฏ0.5โฏmm ๋ฑ)๋ฅผ ์ ์ฉํ๊ณ , ์ฅ๊ธฐ์ ์ธ ์ฃผํ์ ๋๋ฆฌํํธ์ ํ๊ฒฝ ์คํธ๋ ์ค ํ ์คํธ๋ฅผ ์ํํจ์ผ๋ก์จ, ์ง์ ํ ์ด๋ํยท์ฐ์ฃผํ ์ด๊ณ ์ ๋ฐ ๋ ํผ๋ฐ์ค ์์คํ ์ผ๋ก์ ์ ํ์ ๊ธฐ๋ํ๋ค.