TiO₂ 완충층 위 VO₂ 박막: 두께에 따른 구조·전기·광학 특성 종합 분석

초록

본 연구는 TiO₂ 완충층을 갖는 c‑Al₂O₃ 기판 위에 증착한 VO₂ 박막(20 nm ~ 170 nm)의 두께 변화를 중심으로 XRD, 라만, XPS, 적외선 반사 및 전기 전이 특성을 체계적으로 조사하였다. 두께가 얇아질수록 구조적 변형과 격자 변형이 심화되어 전이 온도가 상승하고 저항 변화 비율이 감소한다. 50 nm 두께의 VO₂는 800 ns의 빠른 전기 스위칭을 보이며, 두께 30 nm 이하에서는 라만 피크 이동으로 인한 강한 스트레인이 확인된다.

상세 분석

VO₂/TiO₂/c‑Al₂O₃ 복합구조는 X‑ray 회절(θ‑2θ)에서 (0k0) 반사만을 나타내어 VO₂의